全自動高溫蝕刻臺
清洗規(guī)格為2 inch ,2cassette/Batch, 25 Pcs/cassette;4 inch,1 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;熱酸排放制程10min左右完成,加熱模組可加熱至600℃;全程自動化控制,幾何曲線加減速運(yùn)動,沖擊小、運(yùn)動平穩(wěn),機(jī)械臂定位精度高,并可選配進(jìn)口自動滅火系統(tǒng);分體式CDS自動供液系統(tǒng);尾氣 Scrubber系統(tǒng);各方面技術(shù)均為國內(nèi)首創(chuàng),滿足了飛速發(fā)展的LED產(chǎn)業(yè)需要,實現(xiàn)了產(chǎn)品的自主創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步。 至此,CGB公司成為目前國內(nèi)大陸唯一一家能夠成功研制高溫濕法蝕刻設(shè)備并正式投放到大型生產(chǎn)線的制造企業(yè),填補(bǔ)了國產(chǎn)設(shè)備在LED高溫制程生產(chǎn)工藝領(lǐng)域的空白。全自動高溫蝕刻臺